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Artículo:

Surface Reaction Probabilities of Silicon Hydride Radicals in SiH4/H2 Thermal Chemical Vapor Deposition

Autor:

Wei-Chang Hsin

Dah-Shyang Tsai

Shimogaki

Página:

2129

Publicación:

Industrial and Engineering Chemistry Research

Volúmen:

41

Número:

9

Periodo:

Mayo 2002

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2002-05-01.txt

  • Documento número 1551653
  • Actualizado el lunes, 13 de marzo de 2023 11:49:17 a. m.
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Artículo:

Surface Reaction Probabilities of Silicon Hydride Radicals in SiH4/H2 Thermal Chemical Vapor Deposition

Autor:

Wei-Chang Hsin

Dah-Shyang Tsai

Shimogaki

Página:

2129

Publicación:

Industrial and Engineering Chemistry Research

Volúmen:

41

Número:

9

Periodo:

Mayo 2002

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2002-05-01.txt

  • Documento número 1616448
  • Actualizado el lunes, 13 de marzo de 2023 12:02:45 p. m.
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Artículo:

Surface Reaction Probabilities of Silicon Hydride Radicals in SiH4/H2 Thermal Chemical Vapor Deposition

Autor:

Wei-Chang Hsin

Dah-Shyang Tsai

. Shimogaki

Página:

2129

Publicación:

Industrial and Engineering Chemistry Research

Volúmen:

41

Número:

9

Periodo:

01-Mayo-2002

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2002-05-01.txt

  • Documento número 1660679
  • Actualizado el lunes, 13 de marzo de 2023 12:38:09 p. m.
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Artículo:

Surface Reaction Probabilities of Silicon Hydride Radicals in SiH4/H2 Thermal Chemical Vapor Deposition

Autor:

Wei-Chang Hsin

Dah-Shyang Tsai

. Shimogaki

Página:

2129

Publicación:

Industrial and Engineering Chemistry Research

Volúmen:

41

Número:

9

Periodo:

01-Mayo-2002

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2002-05-01.txt

  • Documento número 1595884
  • Actualizado el lunes, 13 de marzo de 2023 11:56:14 a. m.
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Artículo:

Surface Reaction Probabilities of Silicon Hydride Radicals in SiH4/H2 Thermal Chemical Vapor Deposition

Autor:

Wei-Chang Hsin

Dah-Shyang Tsai

Shimogaki

Página:

2129

Publicación:

Industrial and Engineering Chemistry Research

Volúmen:

41

Número:

9

Periodo:

Mayo 2002

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2002-05-01.txt

  • Documento número 1437819
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