1. aut = "Ronghui Ma"
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Artículo:

Reduction of Chemical Reaction Mechanism for Halide- Assisted Silicon Carbide Epitaxial Film Deposition

Autor:

Rong Wang

Ronghui Ma

Michael Dudley

Página:

3860

Sección:

Materials and Interfaces

Publicación:

Industrial & Engineering Chemistry Research

Volúmen:

48

Número:

8

Fecha:

15 Abril 2009

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2009-04-15.txt

  • Documento número 199368
  • Actualizado el martes, 23 de mayo de 2017 03:48:18 p. m.
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Artículo:

Reduction of Chemical Reaction Mechanism for Halide- Assisted Silicon Carbide Epitaxial Film Deposition

Autor:

Rong Wang

Ronghui Ma

Michael Dudley

Página:

3860

Sección:

Materials and Interfaces

Publicación:

Industrial & Engineering Chemistry Research

Volúmen:

48

Número:

8

Fecha:

15 Abril 2009

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2009-04-15.txt

  • Documento número 703530
  • Actualizado el martes, 10 de julio de 2018 10:33:37 a. m.
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Artículo:

Reduction of Chemical Reaction Mechanism for Halide- Assisted Silicon Carbide Epitaxial Film Deposition

Autor:

Rong Wang

Ronghui Ma

Michael Dudley

Página:

3860

Sección:

Materials and Interfaces

Publicación:

Industrial & Engineering Chemistry Research

Volúmen:

48

Número:

8

Fecha:

15 Abril 2009

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2009-04-15.txt

  • Documento número 1091785
  • Actualizado el martes, 10 de julio de 2018 11:19:09 a. m.
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