- Artículo:
Rapid Thermal Processing of Mesoporous Silica Films: A Simple Method to Fabricate Films Micrometers Thick for Microelectromechanical Systems (MEMS) Applications
- Autor:
Hae-Kwon Jeong
Ramesh Chandrasekharan
Kuan-Lun Chu
Mark A. Shannon
Richard I. Masel
- Página:
8933 - 8937
- Sección:
RESEARCH NOTES
- Publicación:
Industrial and Engineering Chemistry Research
- Volúmen:
44
- Número:
23
- Fecha:
Noviembre 9 2005
- ISSN:
08885885
- SrcID:
08885885-2005-11-09.txt
- Documento número 1088177
- Actualizado el martes, 10 de julio de 2018 11:18:44 a. m.
- Creado el martes, 10 de julio de 2018 11:18:44 a. m.
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