- Artículo:
Calentador de sustratos compacto y de bajo costo para tratamiento térmico insitu de películas delgadas depositadas por rf-suputtering
- Autor:
A. Márquez Herrera
E. Hernández – Rodríguez
M.P. Cruz – Jáuregui
- Página:
85
- Sección:
Instrumentación
- Volúmen:
56
- Número:
01
- Periodo:
Febrero 2010
- ISSN:
0035001x
- SrcID:
0035001x-2010-01.txt
- Documento número 1318800
- Actualizado el martes, 10 de julio de 2018 11:46:22 a. m.
- Creado el martes, 10 de julio de 2018 11:46:22 a. m.
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