- Artículo:
Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda colpanares
- Autor:
R. Leal – Romero
I.E Zaldivar – Huerta
J.A. Reynoso – Hernández
- Página:
92
- Sección:
Instrumentación
- Volúmen:
56
- Número:
01
- Periodo:
Febrero 2010
- ISSN:
0035001x
- SrcID:
0035001x-2010-01.txt
- Documento número 1318801
- Actualizado el martes, 10 de julio de 2018 11:46:22 a. m.
- Creado el martes, 10 de julio de 2018 11:46:22 a. m.
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