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Artículo:

Scaling Hetero-Epitaxy from Layers to Three-Dimensional Crystals

Autor:

Claudiu V. Falub

Hans von Känel

Fabio Isa

Resumen:

A space-filling array of self-limited three-dimensional epitaxial crystals averts wafer bowing, layer cracking, and dislocation propagation.

Página:

1330

Publicación:

Science

Volúmen:

335

Número:

6074

Fecha:

16 marzo 2012

ISSN:

00368075

SrcID:

00368075-2012-03-16.txt

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