Artículo:

Model Development for Atomic Force Microscope Stage Mechanisms

Autor:

Ralph C. Smith

Andrew G. Hatch

Tathagata Murti

V. Salapaka

Ricardo C. H. del Rosario

Julie K. Raye

Página:

1998

Publicación:

SIAM Journal on Applied Mathematics

Volúmen:

66

Número:

6

Periodo:

Diciembre 2006

ISSN:

00361399

SrcID:

00361399-2006-06.txt