- Artículo:
Behavioral modeling of a monolithically integrated three-axis capacitive accelerometer based on the MetalMUMPs process
- Autor:
Abid Iqbal
Shafaat A. Bazaz
- Página:
565
- Publicación:
Simulation
- Volúmen:
88
- Número:
5
- Periodo:
mayo 2012
- ISSN:
00375497
- SrcID:
00375497-2012-05.txt
- Documento número 1357081
- Actualizado el martes, 10 de julio de 2018 11:50:25 a. m.
- Creado el martes, 10 de julio de 2018 11:50:25 a. m.
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