- Artículo:
Achieving Uniformity in a Semiconductor Fabrication process using spatial modeling
- Autor:
Hughes-Oliver, Jacqueline
- Página:
36
- Publicación:
Journal of the American Statistical Association
- Volúmen:
93
- Número:
441
- Periodo:
Marzo 1998
- ISSN:
1537274X
- SrcID:
1537274X-1998-02.TXT
- Documento número 1412630
- Actualizado el miércoles, 19 de agosto de 2020 07:51:58 p. m.
- Creado el miércoles, 19 de agosto de 2020 07:51:58 p. m.
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