- Artículo:
Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing Using an Optimal Iterative Learning Control Technique
- Autor:
Kwang S. Lee
Jinho Lee
Insik Chin
Jinhoon Choi
Jay H. Lee
- Página:
1661
- Publicación:
Industrial and Engineering Chemistry Research
- Volúmen:
40
- Número:
7
- Periodo:
Abril 2001
- ISSN:
08885885
- SrcID:
08885885-2001-04-04.txt
- Documento número 1437089
- Actualizado el viernes, 27 de noviembre de 2020 05:21:54 p. m.
- Creado el viernes, 27 de noviembre de 2020 05:21:54 p. m.
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