Artículo:

Measuring P Diameter and P-P Gap with Nanometer Precision Using an Optical Microscope

Autor:

Prasanna K. Thwar

Darrell Velegol

Página:

3042

Publicación:

Industrial and Engineering Chemistry Research

Volúmen:

40

Número:

14

Periodo:

11-Julio-2001

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2001-07-11.txt