- Artículo:
Imaging of Arsenic Cottrell Atmospheres Around Silicon Defects by Three-Dimensional Atom Probe Tomography
- Autor:
Keith Thompson
Philip L. Flaitz
Paul Ronsheim
David J. Larson
Thomas F. Kelly
- Resumen:
Three-dimensional atom probe tomography locates individual dopant atoms and defects inside silicon and shows that the environment around them helps fix their location.
- Página:
1370
- Sección:
Reports
- Publicación:
Science
- Volúmen:
317
- Número:
5843
- Fecha:
07-Sep-07
- ISSN:
00368075
- SrcID:
00368075-2007-09-07.txt
- Documento número 430556
- Actualizado el martes, 23 de mayo de 2017 04:08:39 p. m.
- Creado el martes, 23 de mayo de 2017 04:08:39 p. m.
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