- Artículo:
Applied Physics: Shocks in Ion Sputtering Sharpen Steep Surface Features
- Autor:
H. Henry Chen et al.
- Resumen:
A theoretical treatment shows how milling surfaces with an ion beam can be optimized to sharpen features as they decrease in size .
- Página:
294
- Sección:
Reports
- Publicación:
Science
- Volúmen:
310
- Número:
5746
- Periodo:
October 14 2005
- ISSN:
00368075
- SrcID:
00368075-2005-10-14.txt
- Documento número 1325683
- Actualizado el martes, 10 de julio de 2018 11:47:03 a. m.
- Creado el martes, 10 de julio de 2018 11:47:03 a. m.
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