- Artículo:
Monitoring Wafer Map Data From Integrated Circuit Fabrication Processes for Spatially Clustered Defects
- Autor:
Mark H. Hansen
Vijayan N. Nair
David J. Friedman
- Página:
241
- Publicación:
Technometrics
- Volúmen:
39
- Número:
3
- Periodo:
Agosto 1997
- ISSN:
00401706
- SrcID:
00401706-1997-03.TXT
- Documento número 1446018
- Actualizado el sábado, 28 de noviembre de 2020 06:48:42 p. m.
- Creado el sábado, 28 de noviembre de 2020 06:48:42 p. m.
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