- Artículo:
Microvalve is built on micromachining techniques. A silicon micromachined actuator has been used to control a proportional valve
- Página:
20
- Publicación:
Design Engineering
- Periodo:
Julio-Agosto 1993
- ISSN:
00137758
- SrcID:
00137758-1993-07.TXT
- Documento número 1456190
- Actualizado el martes, 1 de diciembre de 2020 01:49:52 p. m.
- Creado el martes, 1 de diciembre de 2020 01:49:52 p. m.
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