Artículo:

Novel Resin-Based Ultrapurification System for Reprocessing IPA in Semiconductor Industry

Autor:

Partha V. Buragohain

William N. Gill

Steven M. Cramer

Página:

3149

Publicación:

Industrial and Engineering Chemistry Research

Volúmen:

35

Número:

9

Periodo:

Septiembre 1996

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-1996-09.TXT