- Artículo:
Hot-Wire Chemical Vapor Deposition of Silicon from Silane: Effect of Process Conditions
- Autor:
Atul Pant
T. W. F. Russell
Marylin C. Huff
Roger Aparicio
Robert W. Birkmire
- Página:
1372
- Publicación:
Industrial and Engineering Chemistry Research
- Volúmen:
40
- Número:
5
- Periodo:
07-Marzo-2001
- ISSN:
08885885
- SrcID:
08885885-2001-03-07.txt
- Documento número 1660069
- Actualizado el lunes, 13 de marzo de 2023 12:38:05 p. m.
- Creado el lunes, 13 de marzo de 2023 12:38:05 p. m.
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