- Artículo:
Monitoring Wafer Map Data from Integrated Circuit Fabrication Processes for Spatially Clustered Defects
- Autor:
Mark H. Hansen
Vijayan N. Nair
David J. Friedman
- Página:
241
- Publicación:
Technometrics
- Volúmen:
39
- Número:
3
- Periodo:
Agosto 1997
- ISSN:
00401706
- SrcID:
00401706 -1997-03.TXT
- Documento número 1699426
- Actualizado el lunes, 13 de marzo de 2023 12:43:29 p. m.
- Creado el lunes, 13 de marzo de 2023 12:43:29 p. m.
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