Artículo:

Kinetic study of ammonia-catalyzed image reversal in positive photoresist

Autor:

Gary L. Wolk

David H. Ziger

Página:

1461

Publicación:

Industrial & Engineering Chemistry Research

Volúmen:

30

Número:

7

Periodo:

Julio 1991

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-1991-07.txt