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Artículo:

Controller and Estimator Design for Regulation of Film Thickness, Surface Roughness, and Porosity in a Multiscale Thin Film Growth Process

Autor:

Xinyu Zhang

Gangshi Hu

Gerassimos Orkoulas

Panagiotis D. Christofides

Página:

7795

Publicación:

Industrial & Engineering Chemistry Research

Volúmen:

49

Número:

17

Fecha:

1 Septiembre 2010

ISSN:

08885885

SrcID:

08885885-2010-09-01.txt

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