- Artículo:
Cost-Effective Systems for Atomic Layer Deposition
- Autor:
Michael Lubitz
Aleks Antic
Joseph T. Rosin
- Página:
1022
- Publicación:
Journal of Chemical Education
- Volúmen:
91
- Número:
7
- Periodo:
Julio 2014
- ISSN:
00219584
- SrcID:
00219584-2014-07.txt
- Documento número 249608
- Actualizado el martes, 23 de mayo de 2017 03:53:00 p. m.
- Creado el martes, 23 de mayo de 2017 03:53:00 p. m.
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