Artículo:

Nanoscale Three-Dimensional Patterning of Molecular Resists by Scanning Probes

Autor:

Pires, David

Hedrick, James L

De Silva, Anuja

Frommer, Jane

Gotsmann, Bernd

Wolf, Heiko

Despont, Michel

Duerig, Urs

Knoll, Armin W.

Página:

732

Publicación:

Science

Volúmen:

328

Número:

5979

Fecha:

7 Mayo 2010

ISSN:

00368075

SrcID:

00368075-2010-05-07.txt