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Artículo:

Estructura y morfología de películas de pm-Si:H crecidas por PECVD variando la dilución de diclorosilano con hidrógeno y la presión de trabajo

Autor:

C. Álvarez-Macías

J. Santoyo-Salazar

B.M. Monroy

M.F. García-Sánchez

M. Picquart

A. Ponce

G. Contreras-Puente

G. Santana

Página:

224

Publicación:

Revista Mexicana de Física

Volúmen:

57

Número:

3

Periodo:

Junio 2011

ISSN:

0035001x

SrcID:

0035001x-2011-03.txt

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